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2021-06-18
真空設(shè)備檢漏與維修
為什么要檢漏
泄漏和密封相對(duì)應(yīng)
很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力的作用下，流進(jìn)或流出這個(gè)空間。如真空設(shè)備（真空鍍膜機(jī)，液晶注入機(jī)，PVD，半導(dǎo)體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時(shí)，空氣不能漏進(jìn)工作腔體，否則生產(chǎn)不能進(jìn)行，或者產(chǎn)生次品，浪費(fèi)人力物力。另外裝液體或氣體的容器（液壓氣瓶，氧氣瓶，空調(diào)冰箱中的雪種容器等等），要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。如果有漏，后果嚴(yán)重，一般會(huì)造成有效物資的浪費(fèi)，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至?xí)劤墒鹿?。氫氣檢漏法檢測(cè)靈敏度高、節(jié)約成本、操作簡(jiǎn)便，將是以后檢漏技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)。
這些對(duì)密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備，在投入使用前，就要先進(jìn)行檢漏，使用中也要定期進(jìn)行檢漏檢查。
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隨著壓力容器出口產(chǎn)品的增加及各制造企業(yè)對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的重視，氦質(zhì)譜檢漏方法在我國(guó)的壓力容器制造業(yè)中的應(yīng)用也逐年遞增。氦質(zhì)譜檢漏方法（以下簡(jiǎn)稱(chēng)氦檢）以其高靈敏度和準(zhǔn)確性而通常應(yīng)用于整體防漏等級(jí)較高的壓力容器上。氦檢方法基本上可分為用氦氣內(nèi)部加壓法和設(shè)備內(nèi)部抽真空外部施氦這兩種，由于后者需將設(shè)備完全抽成真空狀態(tài),往往會(huì)增加試驗(yàn)用設(shè)備（如高、低壓真空泵、真空閥等）和設(shè)備工裝（如外壓加強(qiáng)圈）而使造價(jià)提高，所以該方法通常用于容積小而厚壁的設(shè)備；然后將被檢工件內(nèi)的空氣放空，放空后被檢工件預(yù)抽真空，充注4%氫氣和96%氮?dú)庵?。對(duì)于大多數(shù)壓力容器而言，通常優(yōu)先選用前一種方法。
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真空設(shè)備檢漏
北京科儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)：科儀創(chuàng)新）出資成立，創(chuàng)建于2015年，注冊(cè)資金500萬(wàn)?？苾x創(chuàng)新產(chǎn)品主要有：薄膜制備設(shè)備，真空冶金設(shè)備，檢漏設(shè)備，真空系統(tǒng)等非標(biāo)真空產(chǎn)品；系列分子泵，離子泵，鈦升華泵，深冷捕集泵等高真空獲得設(shè)備；系列干式渦旋泵，干式爪泵，干式螺桿泵等無(wú)油真空獲得設(shè)備；以上是由北京科儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限公司發(fā)表內(nèi)容，如有需要，歡迎撥打圖片上的熱線電話。超高真空環(huán)境模擬設(shè)備等高新技術(shù)產(chǎn)品。
如何選擇檢漏方式，與檢測(cè)對(duì)象的工作環(huán)境有很大關(guān)系，盡量做到與檢測(cè)對(duì)象的工作狀態(tài)一致。如檢測(cè)對(duì)象工作時(shí)內(nèi)部處于正壓，則用正壓模式，如檢測(cè)對(duì)象工作時(shí)內(nèi)部處于負(fù)壓，則用真空模式。HLT260型氦質(zhì)譜檢漏儀具有嗅探和抽真空2種檢漏模式，即正壓模式和負(fù)壓模式。世界領(lǐng)1先水進(jìn)的聲學(xué)技術(shù)真空打檢機(jī)/真空檢漏機(jī)當(dāng)容器經(jīng)過(guò)探頭時(shí)，探頭在容器頂部施加一個(gè)“非接觸式”的敲擊動(dòng)作，使容器頂部發(fā)出聲音，不同真空度的容器會(huì)發(fā)出不同的聲音，先進(jìn)的聲學(xué)技術(shù)根據(jù)聲音來(lái)判斷容器是否發(fā)生泄漏。詳細(xì)檢漏方法與測(cè)量工作過(guò)程如下：
在抽真空方式下，待檢漏的器件通過(guò)測(cè)試端口與檢漏儀相連，
待測(cè)器件被檢漏儀內(nèi)部的粗抽泵和分子泵抽到一定的真空（如果待測(cè)器件容積較大，則需額外的泵組一起協(xié)同作業(yè)以提高xiao率）。只需測(cè)量待測(cè)器件外部大氣通過(guò)器壁的漏孔進(jìn)入器件內(nèi)部的氦的多少便可以判斷漏率的大小。氫氣檢漏法在制冷、空調(diào)的應(yīng)用和展望今天，在世界各地許多制冷、空調(diào)客戶(hù)正在使用各種不同型號(hào)的氫氣檢漏儀。如果需要得到精que的漏率數(shù)值，則必須等待整個(gè)測(cè)量系統(tǒng)的真空達(dá)到穩(wěn)態(tài)，
